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真空鍍膜機成膜不均勻的因素

2023-02-06 11:31:56

由于真空鍍膜機必須能夠保持工件的自轉,因此工件在不同真空室之間的轉移技術是制造具有三維分散零件的多室連續鍍膜機的主要難點。目前,傳動機構主要是在常規、廣泛用于板帶材表面涂裝、在無工件旋轉機構基礎上發展起來的鏈式隧道傳動機構。

鏈式隧道式連續輸送機構是在傳統板帶表面涂布機中輸送機構的基礎上發展起來的對于真空鍍膜設備制造商來說,生產沒有難度市場上現有的三維分散件連續涂布機均采用該機型,國內已有多家企業申請了zhuanli。是鏈式隧道傳動機構的結構設計圖其傳動過程是轉盤A帶動柔性金屬鋼帶B轉動,自轉軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上,并通過機械機構固定在轉盤上同時,內齒固定盤F與自轉軸C上的齒輪E嚙合,保證其轉動。柔性金屬鋼帶B在G處可自由斷開,從內齒固定盤F的H口直線運動到下一個真空鍍膜室的工件架上。

鏈(lian)式隧道傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)機(ji)(ji)構(gou)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)點是1、真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)連接(jie)閥需要(yao)尺寸較(jiao)大(da)(da),這樣不(bu)同(tong)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)氛(fen)(fen)容易相(xiang)互(hu)交叉,從(cong)而降低鍍(du)膜(mo)質量、成(cheng)品(pin)率等(deng);2、要(yao)求高設計精度、由(you)(you)于結構(gou)靈(ling)活,加工水平容易匹(pi)配不(bu)準,導致傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)失靈(ling)。真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)膜(mo)機(ji)(ji)往復(fu)步進齒(chi)條推桿(gan)輸送機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)過(guo)程是固(gu)定(ding)在(zai)鍍(du)膜(mo)室(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)頂(ding)部(bu)或底盤(pan)上(與公轉(zhuan)盤(pan)同(tong)一側(ce))和能夠往復(fu)運(yun)動(dong)(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)齒(chi)輪(lun)(lun)g、齒(chi)條H-推桿(gan)機(ji)(ji)構(gou)依次實現(xian)將旋轉(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工件棒Am從(cong)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)M的(de)(de)(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)臺Jm傳(chuan)(chuan)送到(dao)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)n的(de)(de)(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)臺Jn。齒(chi)輪(lun)(lun)、機(ji)(ji)架使用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)動(dong)(dong)力是由(you)(you)電機(ji)(ji)實現(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de),電機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)軸密封(feng)在(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)外。為了使自轉(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工件棒離開(kai)轉(zhuan)盤(pan)進入下一個轉(zhuan)盤(pan),轉(zhuan)盤(pan)和自轉(zhuan)軸之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)采用開(kai)放式連接(jie),同(tong)時打開(kai)固(gu)定(ding)在(zai)鍍(du)膜(mo)室(shi)(shi)內并保持旋轉(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)內齒(chi)輪(lun)(lun)板的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)應位置(zhi),使自轉(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工件棒從(cong)鍍(du)膜(mo)室(shi)(shi)M轉(zhuan)移(yi)到(dao)下一個鍍(du)膜(mo)室(shi)(shi)n。與鏈(lian)式輸送機(ji)(ji)構(gou)相(xiang)比,該機(ji)(ji)構(gou)為剛性(xing)輸送,不(bu)存在(zai)嚙合不(bu)準確的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問題同(tong)時,由(you)(you)于所需的(de)(de)(de)(de)(de)(de)過(guo)渡空(kong)間(jian)(jian)較(jiao)小,可(ke)以節(jie)省真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)閥門的(de)(de)(de)(de)(de)(de)開(kai)啟(qi)和關(guan)閉時間(jian)(jian)、進一步減少不(bu)同(tong)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)氛(fen)(fen)串擾。從(cong)而大(da)(da)大(da)(da)提高了涂覆過(guo)程的(de)(de)(de)(de)(de)(de)穩定(ding)性(xing)和可(ke)靠性(xing)、產量,降低能耗和成(cheng)本等(deng)。

真空鍍膜機成膜不均勻隨著鍍膜技術的發展,各種真空鍍膜機逐漸出現無論哪種真空鍍膜機,薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響。現在,我們使用磁控濺射真空鍍膜機來分析不均勻成膜的因素。涂布機泵送不均勻會影響涂布均勻性。基片干凈很重要。真空鍍膜前,應仔細清洗基底表面,去除工件上的油污、去污和脫水的目的。基板表面污染來源于加工和運輸過程中附著在零件上的各種灰塵、油脂、拋光膏、汗漬等,在潮濕的環境中,基板表面容易氧化,形成氧化膜吸收氣體。對于這些污染物,可以通過脫脂或化學方法清洗。干凈的基底不應直接放在室外,而應儲存在封閉的容器中以減少污染。灰塵也會堆積在涂裝室,所以要對涂裝室進行清潔,烘烤脫氣,將機器放在干凈的環境中。注意擴散泵返油。涂料的原料有很多,比如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等,輔料、配方比例不一樣,貼膜也不一樣。這些都是真空鍍膜機成膜不均勻的因素。

真空鍍膜機

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