97高清国语自产拍_中国A级毛片免费观看_日本夜爽爽一区二区三区_精品9E精品视频在线观看

歡迎進入肇慶(qing)市鴻利達(da)真(zhen)空設備科(ke)技有(you)限公司!

咨詢(xun)熱線:138-2261-7524

  • 品質保障

    品質保障

  • 售后無憂

    售后無憂

  • 多年經驗

    多年經驗

廣東真空設備廠家真空鍍膜設備廠家
您當前的位置 : 首 頁 > 產品中心 > 立式EMI磁控鍍膜生產線
立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線

  • 所屬分類:立式EMI磁控鍍(du)膜(mo)生產線
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2021-01-14 17:54:00
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

立式磁控鍍膜生產線設備簡介

★該立式磁控鍍膜生產線可鍍的工藝膜系有:金膜、銀膜、鋁膜、鈦金膜、不銹鋼膜等單質膜和氧化膜、復合膜、增透膜、增亮膜、光學膜、ITO導(dao)電(dian)膜(mo)、EMI屏蔽膜等等。設備能生產的(de)產品有銀鏡、鋁鏡、彩色(se)玻(bo)璃(li)、工藝(yi)玻(bo)璃(li)、光(guang)伏玻(bo)璃(li)、光(guang)電(dian)玻(bo)璃(li)、ITO導(dao)電玻璃、非導(dao)玻璃等(deng),以及PCPVCPET等材(cai)料(liao)表面鍍ARAFITO非導(dao)等膜(mo)(mo)和金屬單質膜(mo)(mo)等工藝。設備(bei)主(zhu)要應用在手機鏡片和(he)手機后蓋鍍膜、電(dian)子、電(dian)器、軍工、家電(dian)、五(wu)金、玩具(ju)、汽車、建(jian)筑、建(jian)材、燈飾、裝飾等眾多行業領域。本設備的優點:抽速快及穩定、產量高、特殊的傳動結構運行平穩不卡頓(吸收進口設備精華)。高真空部分可根據客戶實際需要全選擇油擴散泵或分子泵,或兩者搭配使用;設計有防返油機構,減少對產品的污染;使用國內或國外知名品牌真空泵機組,加上人性化結構設計理念和智能控制及顯示系統,使設備盡善盡美。

 立式EMI磁控鍍膜生產線

★工藝氣體(ti):氣(qi)(qi)(qi)、氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)、氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)等,具體看生產的產品而(er)定(ding)。

★靶材材質:金、銀、銅(tong)、鋁、鈦(tai)、鋯、硅(gui)、鎳、鉻(ge)、錫、銦、鈮、不銹鋼等或錫銦、硅(gui)鋁、鎳鉻(ge)等合(he)金。

磁控濺射電(dian)(dian)源(yuan)(yuan):直流電(dian)(dian)源(yuan)(yuan)、中頻電(dian)(dian)源(yuan)(yuan)、射頻電(dian)(dian)源(yuan)(yuan)、離子(zi)轟擊(ji)電(dian)(dian)源(yuan)(yuan)、離子(zi)源(yuan)(yuan)電(dian)(dian)源(yuan)(yuan)(按客戶(hu)需要而定)

★該立式磁控鍍膜生產線的結構:有34鎖、54鎖、56鎖、76鎖、98鎖。

上片(pian)(pian)平移臺(上片(pian)(pian))-----前粗抽室(進片室、帶轟擊、粗抽真空泵機(ji)組)-----前(qian)高(gao)真空室(shi)(精抽(chou)真空泵機組(zu))-----前(qian)過渡室-----鍍(du)膜(mo)室123(鍍膜(mo)室的個數按(an)工藝而定,精抽真(zhen)空(kong)泵機組(zu)、磁控濺射陰極靶、氣體系統-----后(hou)過(guo)渡室-----后高(gao)真(zhen)空(kong)室(精抽真(zhen)空(kong)泵機組)-----后粗(cu)(cu)抽室(shi)(粗(cu)(cu)抽真(zhen)空泵(beng)機組(zu))-----下(xia)片(pian)平移臺(下(xia)片(pian)臺)-----回流架123------連接到上片平(ping)移臺(如此循環工作(zuo))。

 立式EMI磁控鍍膜生產線

★該立式磁控鍍膜生產線的工作流程:現以76鎖為例。

在上(shang)片平移臺處的工件架小車(che)上(shang)掛上(shang)或貼上(shang)基片-----放氣數秒并開真空鎖(suo)1,工件架小(xiao)車進(jin)入到前粗抽室后關真空鎖1并(bing)抽真空(kong)、轟擊(有(you)時需要充入(ru)氬(ya)氣)----當抽到真空度后打開真空鎖2后(hou)工件(jian)架(jia)進入前高真空室后(hou)關真空鎖2繼續抽高真空-----達到一(yi)定真(zhen)空后開鎖3并進入前(qian)過渡后關真空鎖3、工(gong)件架慢速進入鍍膜室123進(jin)行磁控濺射鍍膜工(gong)作(zuo)(鍍膜真空度在2×10-1Pa左(zuo)右,按工藝而定)-----鍍膜結束后工(gong)走到過渡(du)室-----開真空鎖4并進入后高真空室關(guan)真空鎖(suo)4后(hou)停留一定時間后(hou)-----開(kai)真空鎖5并(bing)進(jin)入后粗抽室后關真空鎖(suo)5、放氣數秒后開真(zhen)空(kong)鎖(suo)6-----工件架進入到下(xia)片平移(yi)臺(tai)(tai)并下(xia)片臺(tai)(tai)-----下片結束后平(ping)移到(dao)回(hui)流架1,工件架(jia)從回流架(jia)123------最后送回(hui)到上片(pian)平移臺回(hui)架處-----平移臺平移到前粗抽室前真(zhen)空鎖1前面停留等(deng)待上片(如此循環工作)。

 立式EMI磁控鍍膜生產線

磁控濺射工作原理:電(dian)子在電(dian)場的作用(yong)下(xia)加速飛(fei)向(xiang)基片(pian)的過程中與氬(氧(yang)、氮等(deng))原(yuan)子發生碰撞,電(dian)離出大量的氬(氧、氮等)離(li)子(zi)(zi)和電子(zi)(zi),電子(zi)(zi)飛(fei)向基片(pian)。氬離(li)子(zi)(zi)在電場的(de)(de)作用下加速轟(hong)擊靶(ba)(ba)材(cai),濺射出(chu)大量的(de)(de)靶(ba)(ba)材(cai)原子(zi)(zi),呈(cheng)中性(xing)的(de)(de)靶(ba)(ba)原子(zi)(zi)(或分子(zi)(zi))沉積在基片(pian)上成(cheng)膜層(ceng)。二次電子在(zai)加(jia)速(su)飛向基片(pian)的過程中受到磁場磁力的作用下,被束縛(fu)在(zai)(zai)靠(kao)近靶(ba)面的(de)等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)區(qu)域內(nei),該區(qu)域內(nei)等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)密度很高,二次電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)在(zai)(zai)磁(ci)場的(de)作用(yong)下(xia)圍繞靶(ba)面作圓周運動,該電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)的(de)運動路徑很長,在(zai)(zai)運動過程中不斷(duan)的(de)與氬(ya)原(yuan)子(zi)(zi)(zi)發生碰撞電(dian)(dian)離(li)(li)出(chu)大量(liang)的(de)氬(ya)離(li)(li)子(zi)(zi)(zi)轟擊靶(ba)材,經(jing)過多次碰撞后電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)的(de)能量(liang)逐漸降低,擺脫磁(ci)力線的(de)束縛(fu),遠(yuan)離(li)(li)靶(ba)材,最終沉積在(zai)(zai)基片上。磁(ci)控濺(jian)射就是以磁(ci)場束縛(fu)和延長電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)的(de)運動路徑,改(gai)變(bian)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)的(de)運動方(fang)向,提高工作氣體(ti)(ti)的(de)電(dian)(dian)離(li)(li)率(lv)和有效(xiao)利用(yong)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)的(de)能量(liang)。磁(ci)控濺(jian)射的(de)基本(ben)原(yuan)理是利用(yong) Ar一(yi)02N2混合氣(qi)體(ti)(ti)中(zhong)的(de)(de)等離子體(ti)(ti)在電(dian)場和交變磁場的(de)(de)作用(yong)下(xia),被加(jia)速的(de)(de)高能粒子轟(hong)擊靶材(cai)表面(mian),能量交換后,靶材(cai)表面(mian)的(de)(de)原子脫離原晶(jing)格而逸(yi)出(chu),轉移到基體(ti)(ti)表面(mian)而成膜。

立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線

立式EMI磁控鍍膜生產線


上一篇:沒有了
下一篇:沒有了

最近瀏覽:

相關產品

相關(guan)新聞

廣東真空設備廠家真空鍍膜設備廠家
   微信二維碼(ma)

contact us

肇慶市鴻利達真(zhen)空設備科技有(you)限公司

add1.png 地址:廣東省(sheng)肇慶(qing)市(shi)高要區(qu)金渡鎮金渡工業園

add2.png 電話:138-2261-7524

add3.png 郵箱:987291173@qq.com

SERVICE

13822617524

服務熱線